至纯集团至微半导体作为国内高端集成电路装备领域代表企业，以生产、销售高端集成电路湿法制程装备为主业，重点发展单片和批次式清洗设备，广泛应用于集成电路制造 (逻辑/记忆体/三维IC)、化合物半导体、先进封装、微机电系统等领域。至微的批次式设备(6寸,8寸,12寸)已有上百台的安装实绩，并获得客户认可；12寸单片设备已有机台验收并投入量产，已接到重复订单，目前还有许多高阶制程（14/28nm）相关工艺正在应用验证中。